超纯水设备工艺概述：
1. 预处理系统
设计水源依据为一般市政自来水，自来水多为地表水源，一年当中原水水质变化较大，胶体、悬浮物及微生物含量较高。为保证本系统中反渗透部分的正常运转，则必须去除水中的悬浮物、胶体、有机物等，以达到反渗透的进水要求。
1) 多介质过滤器：
本系统是对原水中悬浮物、颗粒物及胶体等物质进行去除，同时对原水中的浊度、色度起到降低作用，它可滤掉原水带来的颗粒、藻类等可见物。
多介质过滤器反洗：反洗以压力参数设备来控制反冲洗周期，当进出水母管上的压力差达到0.5kg/cm2时即停止运行进行反冲洗，通过电气系统控制进行滤器顺序定时反洗、气擦洗、正洗工艺过程。
反洗水由单独设置的反洗水泵供水控制和调节反洗水流量，反洗水强度应使滤层膨胀15-25%。反洗时送入压缩空气，擦洗滤料，其强度为18-20升/秒•米2，反洗水可以用反渗透的浓水。
2) 活性炭过滤器：
活性炭工艺在水处理领域中占有相当重要的地位，是水深度处理中不可缺少的工艺，它所具有的某些特殊功效是其它水处理工艺所无法替代的。
— 去色
可去除由铁、锰及植物分解生成物或有机污染物等所形成的色度。
— 脱氯
可去除因余氯所造成的嗅味。
— 去除有机物
可去除由于水源污染而常规工艺又无法去除的水中微量污染物，如农药，杀虫剂，氯化烃，芳香族化合物，以及BOD与COD等。
— 去除有机氯
可去除在原水净化过程中及自来水出厂前投加预氧化剂和消毒剂（如氯气）所产的THMS等“三致”物质。有分析表明，自来水中“三致物质THMS占去大半，有效的去除对于提高水质量十分关键。
— 去除氨氮和亚硝酸盐
活性炭可有效去除氨氮和亚硝酸盐。
— 去除剩余氯或氧化剂，保护超滤、反渗透的滤膜
另外，它还可以除臭，去除水中的微量重金属离子（如汞、铬等离子），合成洗涤剂及放射性物质等。
3) 软化系统
为满足RO进水要求，在原水进入进化软化，阻止结垢。
4) 保安过滤器：
经过前面的石英过滤器、活性炭过滤器之后，原水中大颗粒悬浮物已基本被除去，而一些小颗粒悬浮物则没有被除去。在这里，再进行一次微滤，去除5μm以上的悬浮物，以保护RO膜不被堵塞。同时，一些活性炭细沫也被截留在反渗透系统之外。保安装过滤器进出口设压力指示表，当压差增大到设定值时更换滤芯。
2. 纯水处理
1) 高压泵
高压泵的反渗透设备的主要动力设备，高压泵应设置高过热保护，泵前后分别设置低、高压保护开关。当高压泵进水压力低于设定值后，高压泵停运，以保护高压泵，当高压泵出口压力高于设定值后，高压泵停运，以保护反渗透膜。
2) 反渗透装置
反渗透装置是该项目预脱盐的心脏部分，经反渗透处理的水，能去除绝大部分无机盐、有机物、微生物等。
3、超纯水系统
超纯水处理深一层除去水中的盐类 ，使水的纯度提高。处理采用增压泵、混床、膜过滤器。混合离子交换床技术成熟，具有产水品质稳定，运行费用低，操作管理方便等特点。
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