半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
制备电子工业用超纯水的工艺流程：
① 预处理－反渗透－水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象
② 预处理－一级反渗透－加药机( PH调节)－中间水箱－第二级反渗透－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象
③ 预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象
④ 预处理--反渗透--中间水箱--水泵--EDI装置--纯化水箱--纯水泵--紫外线杀菌器--精制抛光混床---TOC分解器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象 (新工艺)
电子超纯水设备特点：
设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
电子超纯水应用领域：
⊙ 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
⊙ 超纯材料和超纯化学试剂；
⊙ 实验室和中试车间；
⊙ 汽车、家电表面抛光处理；
⊙ 光电产品；
⊙ 其他高科技精微产品；
