超纯水设备，又可称高纯水设备，就是制取超纯水（高纯水）的水处理设备，通常作为反渗透设备后的二次除盐设备。超纯水的工艺流程可分为4大种：
1、采用离子交换方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点 　　
2、采用两级反渗透方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→微孔过滤器→纯化水箱→用水点 　　
3、采用混合离子交换方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
4、采用EDI方式，其流程如下：源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点